一种四氟化硅的生产工艺

摘要

本发明公开了一种四氟化硅的生产工艺，涉及氟硅材料生产领域，将计量好的原料氟硅酸钠、二氧化硅粉在干燥器中干燥并均匀搅拌；将预热并干燥后的氟硅酸钠与二氧化硅粉混合料转入到反应器中，喷入计算好总量的浓硫酸进行搅拌加热在一定温度下反应；反应过程中产生的气体及时抽出，经过洗涤除杂，压缩后获得四氟化硅产品。本发明采用氟化工以及磷肥工业的含氟气体回收处理过程获得的氟硅酸钠与硅胶废料进行生产，原料成本低，反应温度低，能耗低，收率高，并可达到多晶硅生产的要求，大大降低多晶硅生产的成本。

主权项

一种四氟化硅的生产工艺，其特征在于，通过如下步骤实现：1）将摩尔比为1：(0.1‑1.0)的原料氟硅酸钠和二氧化硅在干燥器中预热到70℃‑180℃、干燥并均匀搅拌；2）将干燥后的氟硅酸钠与二氧化硅粉混合料转入到反应器中，喷入预热到70℃‑180℃的H2SO4含量≥98.0%的浓硫酸进行搅拌反应，所述氟硅酸钠与浓硫酸中H2SO4的摩尔比为1：(0.8‑1.3)，反应过程中不断给反应器加热，保持反应温度在100‑200℃；3）反应过程中产生的气体及时抽出，气体成分为四氟化硅、氟化氢、水蒸汽及粉尘，经过浓硫酸洗涤除尘、吸附氟化氢、脱水、除酸雾后进入压缩机进行压缩，获得四氟化硅产品，反应完全后获得固体反应渣为硫酸钠。