单晶制造装置及单晶的制造方法

摘要

本发明是涉及一种单晶制造装置及单晶的制造方法，该单晶制造装置(10)，是根据切克劳斯基法来实行的单晶制造装置(10)，具备主腔室(11)，用以收容包含坩埚(13)的热区零件；及拉拔腔室(12)，用于收纳从已收容在坩埚(13)内的原料熔液被提拉上来的单晶，然后加以取出；其中，进而具备要被配置在坩埚上且有冷却介质流通的冷却管(1)、及使该冷却管(1)上下移动的移动机构(3)，而在培育单晶后，利用移动机构(3)，使冷却管(1)朝向坩埚(13)下降，来冷却热区零件。由此，提供一种单晶制造装置及单晶的制造方法，在提拉大口径例如200mm以上的单晶后，能在短时间内冷却主腔室内的热区零件。

主权项

一种单晶制造装置，是根据切克劳斯基法来实行的单晶制造装置，至少具备主腔室，用以收容包含坩埚的热区零件；及拉拔腔室，用于收纳从已收容在前述坩埚内的原料熔液被提拉上来的单晶，然后加以取出；该单晶制造装置的特征在于：进而具备要被配置在前述坩埚上且有冷却介质流通的冷却管、及使该冷却管上下移动的移动机构，而在培育前述单晶后，利用前述移动机构，使前述冷却管朝向前述坩埚下降，来冷却前述热区零件，前述冷却管被设置在能够与前述拉拔腔室作置换的降温腔室内。