发明名称 |
一种基板吸附装置 |
摘要 |
本实用新型涉及显示技术领域,特别是涉及一种基板吸附装置。该基板吸附装置包括:框架,框架上连接至少一个可收缩吸附杆,吸附杆连接抽压单元,吸附杆的一端具有吸附端,所述吸附端的端面设有由透明柔性材料制成的吸附片;框架的顶部连接驱动单元。本实用新型提供的基板吸附装置,与掩膜版直接接触的吸附端采用透明柔软材料制成,可有效避免掩膜版表面被划伤,同时可极大减少吸附端与掩膜版之间存在的缝隙,使得吸附端可牢牢吸附住掩膜版,防止掩膜版在生产过程中出现的脱落现象,操作方便,最大程度地提高工作效率。 |
申请公布号 |
CN202712149U |
申请公布日期 |
2013.01.30 |
申请号 |
CN201220266506.3 |
申请日期 |
2012.06.06 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
发明人 |
马良 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I;G02F1/1339(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
韩国胜 |
主权项 |
一种基板吸附装置,其特征在于,包括:框架,所述框架上连接至少一个可伸缩吸附杆,所述吸附杆连接抽压单元,所述吸附杆的一端具有吸附端,所述吸附端的端面设有由透明柔性材料制成的吸附片;所述框架的顶部连接传动单元。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |