发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06252345(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930040801 申请日期 1993.03.02
申请人 NEC CORP 发明人 SAITO MEGUMI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址