| 发明名称 | 一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜，包括：衬底和衬底上依次排列的第一介质层、金属层和第二介质层；所述衬底为单晶硅片、单晶蓝宝石片或石英玻璃片；所述的第一介质层和第二介质层同时为氧化铟层或氧化锌层，厚度为20～100nm；所述的金属层为银层、金层或铝层，厚度为5～40nm；上述纳米结构薄膜既可以采用电子束蒸发法制备，也可以采用磁控溅射法和热蒸发法相结合的方法制备。本发明的介质/金属/介质型纳米结构薄膜，较之于相同介质层厚度的金属/介质型双层结构薄膜，发光增强因子高、使用寿命长，具有广阔的开发前景。 | ||
| 申请公布号 | CN101885468B | 申请公布日期 | 2013.01.30 |
| 申请号 | CN201010215670.7 | 申请日期 | 2010.06.30 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 邱东江 |
| 分类号 | B82B1/00(2006.01)I | 主分类号 | B82B1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人 | 胡红娟 |
| 主权项 | 一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜，包括：衬底和衬底上依次生成的第一介质层、金属层和第二介质层；所述衬底为单晶硅片；所述的第一介质层和第二介质层为氧化铟层，第一介质层的厚度为50～70nm，第二介质层的厚度为20～50nm；所述的金属层为银层，厚度为21～30nm。 | ||
| 地址 | 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||