发明名称 制作倒装高电压交直流发光二极管的方法
摘要 一种制作倒装高电压交直流发光二极管的方法,包括如下步骤:步骤1:在一上衬底上依次生长成核层、N型掺杂层、发光层和P型掺杂层;步骤2:在P型掺杂层的表面向下刻蚀,刻蚀深度到达上衬底的表面,形成相互绝缘的发光单元;步骤3:在P型掺杂层的表面向下刻蚀,刻蚀深度到达N型掺杂层内,形成台面;步骤4:在每一P型掺杂层上制作P电极;步骤5:在N型掺杂层的台面上制备N电极,形成LED芯片;步骤6:在一下衬底上生长一层绝缘层;步骤7:在绝缘层上制作金属层,形成倒装基板;步骤8:将LED芯片通过共晶键合的方法倒装在倒装基板上,所述LED芯片上的每一发光单元中的P电极与相邻发光单元中的N电极或P电极通过金属层电连接,完成制备。
申请公布号 CN102903805A 申请公布日期 2013.01.30
申请号 CN201210405495.7 申请日期 2012.10.22
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 田婷;詹腾;张逸韵;郭金霞;李璟;伊晓燕;刘志强;王国宏
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/62(2010.01)I;H01L27/15(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种制作倒装高电压交直流发光二极管的方法,包括如下步骤:步骤1:在一上衬底上依次生长成核层、N型掺杂层、发光层和P型掺杂层;步骤2:在P型掺杂层的表面向下刻蚀,刻蚀深度到达上衬底的表面,形成相互绝缘的发光单元;步骤3:在P型掺杂层的表面向下刻蚀,刻蚀深度到达N型掺杂层内,形成台面;步骤4:在每一P型掺杂层上制作P电极;步骤5:在N型掺杂层的台面上制备N电极,形成LED芯片;步骤6:在一下衬底上生长一层绝缘层;步骤7:在绝缘层上制作金属层,形成倒装基板;步骤8:将LED芯片通过共晶键合的方法倒装在倒装基板上,所述LED芯片上的每一发光单元中的P电极与相邻发光单元中的N电极或P电极通过金属层电连接,完成制备。
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号