晶圆清洗刷和晶圆清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆清洗刷，包括刷盘、第一旋转轴、第一旋转马达以及直线马达，第一旋转马达经第一旋转轴驱动刷盘转动，直线马达驱动所述第一旋转轴作直线位移，刷盘是一直径大于或者等于晶圆的圆盘，圆盘的一个表面上设置有若干刷毛。本实用新型还公开了一种晶圆清洗装置，包括用于吸附晶圆的吸盘、第二旋转轴、第二旋转马达、以及如上的晶圆清洗刷，所述第二旋转马达经第二旋转轴驱动吸盘转动。一方面，由于刷盘上的刷毛可以同时接触晶圆的整个表面，因此，可以提高清洗面积，从而可以一定程度上提高晶圆的清洗效率；另一方面，吸盘和刷盘做反向旋转，从而可以增加刷毛和晶圆的相对速度，进而，可以进一步提高刷毛对晶圆的清洗效率。

主权项

一种晶圆清洗刷，其特征在于，包括刷盘、第一旋转轴、第一旋转马达以及直线马达，所述第一旋转马达经所述第一旋转轴驱动所述刷盘转动，所述直线马达驱动所述第一旋转轴作直线位移，所述刷盘是一直径大于或者等于晶圆的圆盘，所述圆盘的一个表面上设置有若干刷毛。