发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07130849(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930280298 申请日期 1993.10.14
申请人 CANON INC 发明人 KATAOKA YUZO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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