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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH07130849(A)
申请公布日期
1995.05.19
申请号
JP19930280298
申请日期
1993.10.14
申请人
CANON INC
发明人
KATAOKA YUZO
分类号
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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