| 主权项 |
1.一种混合气体供应系统,其中包括:(1)许多气体导管装置,以分别流通许多气体中之各个气体;(2)许多流量控制器,以将各该气体自动进给至该等气体导管装置;(3)一混合器,可将来自该等气体导管装置之许多气体加以混合,以制得一混合气体;及(4)一缓冲器,以释放来自混合器之混合气体之压力能量,并将该混合气体供应给许多耗气装置,藉助于该缓冲器内所储混合气体之压力变化,使该等流量控制器得以打开或关闭,因而停止或再度开始进给该等气体至该等耗气装置。2.如申请专利范围第1项之一种混合气体供应系统,其中,该等耗气装置包括至少一个半导体制造器。3.如申请专利范围第1或第2项之一种混合气体供应系统,其中,于该等气体导管装置上,分别配置一流量计以量测气体之流速,其中,若该流量计之侦测値与流量控制器之间发生差异,另外单独提供之混合气体将分别供应给该等半导体制造器。4.如申请专利范围第1或2项之混合气体供应系统,其中,该等气体内至少有一种气体系一惰性气体或氢气,且该惰性气体或氢气系:(1)利用一蒸发器,将储存在一单独储槽之液态气体加以蒸发,或(2)藉将高压气体减压,以制得,并使其自蒸发器或减压装置经由气体导管装置流入混合器。5.如申请专利范围第1或2项之混合气体供应系统,其中,该等气体内至少有一种系氮气,且该氮气系利用一蒸发器,将一单独储槽内之液氮加以蒸发而制得,并使其自蒸发器经由气体导管装置流入混合器。图1系本发明混合气体供应系统一项具体实施例之总图。图2系本发明混合气体供应系统中混合器内部结构之示意图。图3系本发明混合气体供应系统另一项具体实施例之示意图,该图与图2相对应。图4系本发明混合气体供应系统又一项具体实施例之示意图,该图与图2相对应。图5系先前技艺中混合 |
