纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法

摘要

本发明提供一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法，包括如下步骤：以高纯金属Ti靶为靶材，经预处理的纺织材料为基材，采用直流反应磁控溅射设备在室温条件下制备纺织材料基纳米TiO2薄膜，所有样品均采用基材在上、靶材在下的结构，即由下向上的溅射方式制备纳米TiO2薄膜，以避免杂质颗粒落到基材表面；同时，为控制薄膜沉积时基材的温度，避免由于高温而发生的基材变形，采用水冷装置冷却基片；为保证纳米TiO2薄膜的纯度，先将反应室抽至本底真空，然后通入高纯氩气作为溅射气体，高纯氧气作为反应气体。本发明可在非织造布纤维表面沉积较为匀整致密的TiO2薄膜，薄膜平均粒径相对较小，表面粗糙度较低。

主权项

一种纺织材料上沉积纳米TiO2薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：以高纯金属Ti靶为靶材，经预处理的纺织材料为基材，采用直流反应磁控溅射设备在室温条件下制备纺织材料基纳米TiO2薄膜，所有样品均采用基材在上、靶材在下的结构，即由下向上的溅射方式制备纳米TiO2薄膜，以避免杂质颗粒落到基材表面；同时，为控制薄膜沉积时基材的温度，避免由于高温而发生的基材变形，采用水冷装置冷却基片；为保证纳米TiO2薄膜的纯度，先将反应室抽至本底真空，然后通入高纯氩气作为溅射气体，高纯氧气作为反应气体。