热电堆红外探测器、阵列及其制备方法

摘要

本发明提供一种热电堆红外探测器及其阵列，所述热电堆红外探测器包括支撑部件，热电偶部件和红外吸收部件，其中，所述支撑部件包括支撑柱和空腔，热电偶部件悬空于所述支撑部件上方，热电偶部件的冷端与支撑柱连接；红外吸收部件位于热电偶部件上方，红外吸收部件与热电偶部件的热端连接。相应地，本发明还提供一种热电堆红外探测器的制备方法。所述热电堆红外探测器的红外吸收部件与热电偶部件不在同一平面内，红外吸收部件的面积不受热电偶对数的限制，最大可以覆盖全部热电偶部件，有利于提高红外吸收效率。红外吸收层采用黑硅材料，其制备方法与半导体IC工艺兼容，有利于降低探测器制备成本。

主权项

一种热电堆红外探测器，包括支撑部件，热电偶部件和红外吸收部件，其特征在于：所述支撑部件包括支撑柱和空腔；热电偶部件悬空于所述支撑部件上方，其冷端与支撑部件的支撑柱连接；红外吸收部件位于所述热电偶部件上方，所述热电偶部件的热端与红外吸收部件连接。