气体和液体的喷射的方法和装置

摘要

一种用于处理室的液体喷射系统，其包括从液体供给源接收液体并选择地脉冲液体进入管道的液体喷射器。控制模块选择液体喷射器的脉冲数和脉冲宽度。气体供给源供应气体进入导管。传感器感测在管道中的第一温度和第一压强中的至少一个，和相应地生成第一温度信号和第一压强信号中的至少一个。基于该第一温度信号和第一压强信号中的至少一个，该控制模块确认所选择的脉冲数发生。

主权项

一种用于处理室的液体喷射系统，其包括：液体喷射器，其从液体供给源接收液体并选择性地脉冲所述液体到管道中；选择所述液体喷射器的脉冲数和脉冲宽度的控制模块；供给气体至所述管道中的气体供给源；以及，感测所述管道的第一温度和第一压强中的至少一个，并相应地产生第一温度信号和第一压强信号中的至少一个的传感器；其中，所述控制模块，基于所述第一温度信号和所述第一压强信号中的所述至少一个，确认所选择的所述脉冲数发生。