衬底抛光设备和方法

摘要

一种衬底抛光设备包括衬底保持机构和抛光机构，所述衬底保持机构包括用于保持待抛光衬底的机头，所述抛光机构包括上面安装有抛光垫的抛光台。由所述机头保持的衬底被压靠所述抛光台上的所述抛光工具，以通过所述衬底和所述抛光工具的相对运动抛光所述衬底。所述衬底抛光设备还包括衬底传递机构，所述衬底传递机构用于将待抛光的衬底送到所述机头并接收已抛光的衬底。所述衬底传递机构包括用于接收待抛光衬底的待抛光衬底接收器和用于接收已抛光衬底的已抛光衬底接收器。

主权项

一种用于抛光衬底的衬底抛光设备，所述衬底抛光设备包括：衬底保持机构，所述衬底保持机构包括用于保持所述衬底的机头；抛光机构，所述抛光机构包括具有抛光工具的抛光台，由所述机头保持的衬底被压靠所述抛光台上的所述抛光工具，以通过所述衬底和所述抛光工具的相对运动抛光所述衬底；以及衬底传递机构，所述衬底传递机构包括：构造成用于将所述待抛光衬底传递到所述机头的待抛光衬底接收器；和构造成用于从所述机头接收已抛光衬底的已抛光衬底接收器；其中，包括用于支撑衬底的器件区域的第一衬底支撑件的所述待抛光衬底接收器和包括用于支撑衬底的无器件区域的第二衬底支撑件的所述已抛光衬底接收器相互同轴地设置；并且所述第一衬底支撑件和第二衬底支撑件可相互独立地致动。