发明名称 压电元件的制造方法
摘要 一种压电元件的制造方法,具有:使用压电材料,制作包含之后成为烧成压电体的部分的生片A的过程;在该生片A的至少一面上,接合与之后成为烧成压电体的部分相面对的部分成为了开口的生片B,然后进行烧成,得到带有生片B被烧成而形成的加强板的带加强板的烧成压电体的过程;以及在该带加强板的烧成压电体的前述生片A被烧成而形成的部分,形成膜状的电极的过程。根据该压电元件的制造方法,能够得到具备平面度高的、薄的烧成压电体的压电元件。
申请公布号 CN102906891A 申请公布日期 2013.01.30
申请号 CN201180024975.2 申请日期 2011.05.25
申请人 日本碍子株式会社 发明人 大西孝生;清水秀树;海老个濑隆
分类号 H01L41/22(2013.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/25(2013.01)I;H01L41/43(2013.01)I;C04B35/493(2006.01)I 主分类号 H01L41/22(2013.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 金鲜英;刘强
主权项 一种压电元件的制造方法,具有:使用压电材料,制作包含之后成为烧成压电体的部分的生片A的过程;在该生片A的至少一面上,接合与之后成为烧成压电体的部分相面对的部分成为了开口的生片B,然后,进行烧成,得到带有所述生片B被烧成而形成的加强板的、带加强板的烧成压电体的过程;以及在该带加强板的烧成压电体的所述生片A被烧成而形成的部分,形成膜状的电极的过程。
地址 日本爱知县