用于处理工具中低颗粒数的气流管理

摘要

在本文所描述的各种示例性实施方式中，一种在衬底生产工具中提供气流管理系统的系统和相关的方法，其包括：外壳，该外壳将衬底生产工具耦合连接到风机过滤器单元以提供过滤空气给该外壳；将衬底生产工具耦合连接到减压排放机构的设施连接件；耦合连接在外壳下方并与设施连接气流连通的衬底传输部；以及通过一个或多个衬底传输槽耦合连接到衬底传输部的衬底处理区域。室基本上包括衬底传输部和衬底处理区域，该室耦合连接到外壳上以接受过滤的空气，并与设施连接件相连接以造成过剩气体流的排出。相对于衬底传输部该室在衬底处理区域保持相对低的压强。

主权项

一种衬底生产工具中的气流管理系统，所述系统包括：外壳，其将所述衬底生产工具耦合连接到风机过滤器单元，所述风机过滤器单元给所述外壳提供过滤空气；设施连接件，其将所述衬底生产工具耦合连接到减压排放机构；衬底传输部分，其耦合连接在所述外壳下方，并与所述设施连接件气流连通；衬底处理区域，其由一个或多个衬底传输槽耦合连接到所述衬底传输部分；室，其基本含有所述衬底传输部分和所述衬底处理区域，所述室耦合连接到所述外壳以接收所述过滤空气，并耦合连接到所述设施连接件以给过量气体流量提供排放通道，所述室配置成在所述衬底处理区域中相对于所述衬底传输部分保持低的压强。