| 发明名称 | 温度控制单元和系统、基板载置台、处理装置和处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够使基板的温度快速变化的温度控制单元。与基板（W）接触对该基板（W）的温度进行控制的温度控制单元（15）具备：与基板（W）接触的板状的单元主体（16）、埋设在单元主体（16）内的多个直线状的加热器（17）、和形成于单元主体（16）内并在内部流通规定温度的介质的冷却流路。各加热器（17）彼此平行地配置，冷却流路（18）以经由相邻的两个加热器（17）之间的部分的方式配置。在俯视单元主体（16）时的与一个加热器（17）垂直的方向，各加热器（17）和冷却流路（18）以等间隔交替配置。 | ||
| 申请公布号 | CN102903651A | 申请公布日期 | 2013.01.30 |
| 申请号 | CN201210258971.7 | 申请日期 | 2012.07.25 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 田中诚治;吉矢秀人;酒井俊充 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种温度控制单元，其与基板接触，控制该基板的温度，该温度控制单元的特征在于，包括：与所述基板接触的板状的主体；埋设在该主体内的多个直线状的加热器；和形成于所述主体内，在内部流通规定温度的介质的介质流路，各所述加热器彼此平行地配置，所述介质流路以经由相邻的两个所述加热器之间的部分的方式配置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||