发明名称 FILM THICKNESS CONTROL METHOD IN FORMING DICHROIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH08106008(A) 申请公布日期 1996.04.23
申请号 JP19940268406 申请日期 1994.10.06
申请人 FUJI PHOTO OPTICAL CO LTD 发明人 OZAWA NAOKI
分类号 G02B5/28;C23C14/08;(IPC1-7):G02B5/28 主分类号 G02B5/28
代理机构 代理人
主权项
地址