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发明名称 SYSTEM FOR FABRICATING A PATTERN ON MAGNETIC RECORDING MEDIA
摘要
申请公布号 EP2471065(A4) 申请公布日期 2013.01.30
申请号 EP20100814294 申请日期 2010.08.26
申请人 VEECO INSTRUMENTS INC. 发明人 PARANJPE, AJIT;LUSE, TODD, ARTHUR;FREMGEN, ROGER, P.;SRINIVASAN, NARASIMHAN;ROOK, KATRINA;DRUZ, BORIS, L.;CELARU, ADRIAN
分类号 G11B5/65;C23C14/50;H01L21/687 主分类号 G11B5/65
代理机构 代理人
主权项
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