半导体器件的并联电源连接的测试方法

摘要

本发明涉及半导体器件的并联电源连接的测试方法，一种具有内部电源总线、用于连接内部电源总线与外部电源的并联电源连接以及测试模块的半导体器件。测试模块包括用于产生第一和第二差分传感器信号的传感器，所述信号是在所选择的一个并联连接中间隔开的位置处，由流动在并联连接中的电流产生的电压的函数。测试模块还包括第一和第二平衡差分对比较器，其接收第一和第二参考信号并分别产生第一比较器信号和第二比较器信号，其中第一比较器信号是第一差分传感器信号和第一参考信号的相对值的函数，第二比较器信号是第二差分传感器信号和第二参考信号的相对值的函数。测试模块还包括一输出元件，其产生是第一和第二比较器信号的函数的输出信号。

主权项

一种半导体器件的并联电源连接的测试方法，其中所述并联电源连接用于连接内部电源总线与外部电源，所述方法包括：使电流流过所述并联连接；产生第一和第二差分传感器信号，所述第一和第二差分传感器信号是在所述并联连接中的所选择的一个中由流过其中的所述电流在间隔开的位置处所产生的电压的函数；施加第一和第二参考信号作为第一和第二平衡差分对比较器元件的输入，并分别产生第一比较器信号和第二比较器信号，所述第一比较器信号是所述第一差分传感器信号和所述第一参考信号的相对值的函数，所述第二比较器信号是所述第二差分传感器信号和所述第二参考信号的相对值的函数；以及产生输出信号，所述输出信号是所述第一和第二比较器信号的函数。