| 发明名称 | 基板处理装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法，能够缩短整个工序时间。本发明一实施方式的基板处理装置包括：基板支持单元，支持基板；喷墨嘴，向上述基板吐出第1处理液；涂敷嘴，向上述基板吐出与第1处理液不同的第2处理液；以及台架单元，使上述喷墨嘴和上述涂敷嘴沿第1方向直线移动，使得上述喷墨嘴和上述涂敷嘴的位置相对于上述基板支持单元变更。 | ||
| 申请公布号 | CN102898032A | 申请公布日期 | 2013.01.30 |
| 申请号 | CN201210265320.0 | 申请日期 | 2012.07.30 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 金哲佑;李晟熙 |
| 分类号 | C03C17/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 刘宗杰;钟锦舜 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，包括：基板支持单元，支持基板；喷墨嘴，向上述基板吐出第1处理液；涂敷嘴，向上述基板吐出与第1处理液不同的第2处理液；以及台架单元，使上述喷墨嘴和上述涂敷嘴沿第1方向直线移动，使得上述喷墨嘴和上述涂敷嘴的位置相对于上述基板支持单元变更。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||