激光光线的光点形状检测方法

摘要

本发明提供光点形状检测方法，包括：检测基板保持步骤，在工作台的保持面上保持检测基板；激光光线照射步骤，通过聚光器对由激光光线振荡构件振荡出且不能对检测基板和进行加工的输出的激光光线进行会聚，并将其照射到检测基板的发光体所处的区域；光强度检测步骤，在对检测基板的发光体所处的区域照射激光光线的状态下，使工作台在X轴方向和Y轴方向上移动，并且通过光检测器检测由发光体发出的光的光强度；光强度映射图生成步骤，生成在光强度检测步骤中检测到的发光体的x、y坐标值处的光强度映射图；以及光点形状图像形成步骤，使聚光器定位于与工作台保持面垂直的Z轴方向上的多个检测位置，生成激光光线的光点形状图像。

主权项

一种激光光线的光点形状检测方法，对由激光光线振荡构件振荡出并由聚光器会聚的激光光线的光点形状进行检测，该光点形状检测方法的特征在于包括：检测基板保持步骤，在构成为能够在X轴方向和Y轴方向上移动的工作台的保持面保持检测基板，该检测基板具有由照射激光光线时发光的微小粒子构成的发光体；激光光线照射步骤，通过该聚光器对由该激光光线振荡构件振荡出且不能对该检测基板和该发光体进行加工的第1输出的激光光线进行会聚，并将其照射到由该工作台保持的该检测基板的该发光体所处的区域；光强度检测步骤，在对由该工作台保持的该检测基板的该发光体所处的区域照射了激光光线的状态下，使该工作台相对于该聚光器在X轴方向和Y轴方向上相对移动，并且通过光检测器检测由该发光体发出的光的光强度；光强度映射图生成步骤，生成在该光强度检测步骤中检测到的该发光体的x、y坐标值处的光强度映射图；以及光点形状图像形成步骤，使该聚光器定位于与该工作台的保持面垂直的Z轴方向上的多个检测位置，实施该光强度检测步骤和该光强度映射图生成步骤，根据在该光强度映射图生成步骤中生成的多个光强度映射图，生成激光光线的光点形状图像。