| 发明名称 | 倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、以及分光传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提供倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、以及分光传感器。倾斜结构体的制造方法包括：在基板的上方形成牺牲膜的工序（a）；在牺牲膜的上方形成第一膜的工序（b）；形成第二膜的工序（c），所述第二膜包括：与基板连接的第一部分、与第一膜连接的第二部分、位于上述第一部分和上述第二部分之间的第三部分；去除牺牲膜的工序（d）；在工序（d）之后使第二膜的上述第三部分弯曲，从而使第一膜相对于基板而倾斜的工序（e）。 | ||
| 申请公布号 | CN102901562A | 申请公布日期 | 2013.01.30 |
| 申请号 | CN201210260839.X | 申请日期 | 2012.07.25 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 吉泽隆彦 |
| 分类号 | G01J3/26(2006.01)I | 主分类号 | G01J3/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄威;孙丽梅 |
| 主权项 | 一种倾斜结构体的制造方法，包括：在基板的上方形成牺牲膜的工序（a）；在所述牺牲膜的上方形成第一膜的工序（b）；形成第二膜的工序（c），所述第二膜包括：与所述基板连接的第一部分、与所述第一膜连接的第二部分、以及位于所述第一部分和所述第二部分之间的第三部分；去除所述牺牲膜的工序（d）；在所述工序（d）之后，使所述第二膜的所述第三部分弯曲，从而使所述第一膜相对于所述基板而倾斜的工序（e）。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||