一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖，所述观察窗还包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块。本实用新型采用双重式保护结构：挡玻璃置于观察窗座内腔，在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板置于真空腔室内，遮蔽观察窗视口，形成第二重保护。本实用新型与现有技术相比能够有效防止真空腔室内的溅射物在观察玻璃和挡板玻璃上的沉积，保证观察窗具有良好的观察效果，降低挡板玻璃的更换次数，结构新颖，使用方便，密封性能好，安全可靠。

主权项

一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗，包括遮板（1）、密封圈（2）、快卸连接器（3）、磁流体密封件（4）、卡环（5）、手柄（6）、挡块（15）、钢丝挡圈（8）、挡玻璃（9）、密封圈（10）、观察玻璃（11）、橡胶垫圈（12）和法兰盖（13），其特征在于第一重保护结构由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成，在观察窗座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述观察窗座密封焊接在真空腔室上，挡玻璃在观察窗和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合；第二重保护结构由遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成，磁流体密封件通过快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上，所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上，磁流体密封件的真空腔内一端设有遮板，另一端设有卡环和手柄，遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接。