| 发明名称 | 碱可溶树脂及其制备方法、光致抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种碱可溶树脂及其制备方法、光致抗蚀剂。本发明所提供的碱可溶树脂是修饰有β-环糊精或β-环糊精衍生物的碱可溶树脂，所述β-环糊精或β-环糊精衍生物通过酯键或酰胺键与碱可溶树脂结合。该碱可溶树脂可用于制备光致抗蚀剂。本发明的碱可溶树脂有助于光致抗蚀剂的稳定性提高；并有助于显影性质提升，减少残渣的产生，得到的图形表面均一，光滑平整。 | ||
| 申请公布号 | CN102898561A | 申请公布日期 | 2013.01.30 |
| 申请号 | CN201210385013.6 | 申请日期 | 2012.10.11 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 王雪岚;薛建设;刘宸;陆金波 |
| 分类号 | C08F20/00(2006.01)I;C08F8/32(2006.01)I;C08F8/14(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 主分类号 | C08F20/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;於毓桢 |
| 主权项 | 一种碱可溶树脂，其特征在于，是修饰有β‑环糊精或β‑环糊精衍生物的碱可溶树脂，所述β‑环糊精或β‑环糊精衍生物通过酯键或酰胺键与碱可溶树脂结合。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||