发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH1092765(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960246388 申请日期 1996.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAYAMA KIMIHIDE;OSHIKA KATSUSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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