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经营范围
发明名称
RESIST COATER
摘要
申请公布号
JPH1092710(A)
申请公布日期
1998.04.10
申请号
JP19960239341
申请日期
1996.09.10
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ISHIKAWA HIDEKAZU
分类号
G03F7/16;B05C5/00;B05C13/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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