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发明名称 APPARATUS FOR SURFACE TREATMENT OF SAMPLE USING ION GUN
摘要
申请公布号 JPH10142124(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960311233 申请日期 1996.11.08
申请人 ELIONIX KK 发明人 HOTTA MASANAO
分类号 G01N1/28;G01N1/32;G01N37/00;G01Q30/20;G01Q90/00;H01J37/30;(IPC1-7):G01N1/28 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
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