发明名称 |
GROUP III NITRIDE-BASED LAYER SEQUENCE, COMPONENT, AND PRODUCTION METHOD |
摘要 |
<p>Gruppe-lll-Nitrid-basierte Schichtenfolge (100), zumindest umfassend eine AlxGayln1-x-yN-basierte Keimschicht (102) und eine AlxGayln1-x-yN-Schicht (103) auf einem Gruppe-IV-Substrat (101) mit x xGayln1-x-yN-Keimschicht (102) auf dem Substrat (101) angeordnet ist und x > 0.2 gilt.</p> |
申请公布号 |
WO2013010533(A1) |
申请公布日期 |
2013.01.24 |
申请号 |
WO2012DE00737 |
申请日期 |
2012.07.19 |
申请人 |
OTTO-VON-GUERICKE-UNIVERSITAET MAGDEBURG;DADGAR, ARMIN;KROST, ALOIS |
发明人 |
DADGAR, ARMIN;KROST, ALOIS |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|