Vorrichtung zur taktilen Formbestimmung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur taktilen Bestimmung einer Oberflächenform eines Messobjekts mit einem Mikrotastarm mit einer Tastspitze. Erfindungsgemäß ist der Mikrotastarm an einer Lichtleitfaser mit einem Faser-Ende befestigt, die in einem Tastergehäuse gehaltert ist, ist in dem Tastergehäuse ein Referenzspiegel vorgesehen, und ist zur Bestimmung der Position des Faser-Endes gegenüber dem Referenzspiegel eine optische, insbesondere interferometrische Messeinrichtung vorgesehen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht eine kostengünstige taktile Bestimmung der Form eines Meßobjekts wie dessen Rauhigkeit. Durch die Halterung des Mikrotastarms an der Lichtleitfaser wird kein mechanisches Gelenk für den Mikrotastarm benötigt. Die berührungslose interferometrische Bestimmung des Abstandes zwischen dem Faser-Ende der Lichtleitfaser und dem in dem Tastergehäuse angebrachten Referenzspiegel ermöglicht eine besonders präzise Bestimmung der Oberflächenform des Messobjekts.