| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING CONDUCTIVE PART IN INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11251436(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19980370166 |
申请日期 |
1998.12.25 |
| 申请人 |
ST MICROELECTRONICS SA;COMMISS ENERG ATOM |
发明人 |
MOUSSAVI MEHDI;MORAND YVES |
| 分类号 |
H01L21/288;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/288 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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