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发明名称 METHOD FOR MEASURING MUTUAL CONNECTION COUPLING CAPACITY IN IC CHIP
摘要
申请公布号 JPH11251391(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980342511 申请日期 1998.12.02
申请人 SIMPLEX SOLUTIONS INC 发明人 NAREIN D ALAURA;JIAN WAN
分类号 G01R27/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R27/26
代理机构 代理人
主权项
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