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发明名称 TEST HEAD
摘要
申请公布号 JPH11251383(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980361361 申请日期 1998.12.18
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 PAUL M GASUKE;THOMAS W BACHELDER;DENISE R BARINGER;DENISE R CONCH;JAMES M CRAFTS;DAVID L GADEL;MARK R LAFOSSE;PERRY CHARLES H;DR ROGER R SKUMID;JOSEPH J VAN HORNE;WAYDE H WHITE
分类号 G01R31/26;G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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