| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur wärme- und flüssigkeitsbasierten Behandlung eines Werkstücks. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte:–Eingeben von Flüssigkeit (F) durch einen in einem Nassbereich (4) angeordneten Flüssigkeitszuführbereich (6);–Ausgeben der Flüssigkeit (F) durch eine ebenfalls im Nassbereich (4) angeordnete Düse (7) in Richtung der Werkstückoberfläche (2');–Einstrahlen eines fokussierten Laserstrahls (L) von einem Trockenbereich (5) aus durch eine den Trockenbereich (5) vom Nassbereich (4) trennende transparente Trennschicht (8) hindurch in die Düse (7) in Richtung der Werkstückoberfläche (2');–Einstellen des Bearbeitungsabstandes (3) zwischen Werkzeugkopf (1) und Werkstückoberfläche (2'); Dabei ist der Flüssigkeitsstrahl auf einem ersten Abschnitt seiner gesamten Länge von der Düse (7) umschlossen, und zwischen Düsen-Stirnfläche (7') und Werkstückoberfläche (2') bildet sich ein Bearbeitungsspalt (3'), welcher mit einem Flüssigkeitsfilm (F') ausgefüllt ist, so dass der Flüssigkeitsstrahl auf seinem restlichen Abschnitt von diesem Flüssigkeitsfilm (F') umgeben und geschützt ist. Die Erfindung offenbart ferner einen Werkzeugkopf (1) zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur laser- und flüssigkeitsbasierten Behandlung eines Werkstücks (2).</p> |
