激光器阵列、激光器装置及光学传输装置和信息处理装置

摘要

本发明公开了一种垂直腔面发射激光器阵列、垂直腔面发射激光器装置、光学传输装置及信息处理装置。该激光器阵列包括：基板，其上具有元件形成区域；多个柱状结构，其形成在基板上的元件形成区域中；以及至少一根金属配线，其形成为与多个柱状结构相邻。多个柱状结构中的每一个包括第一导电类型的下部半导体反射器、第二导电类型的上部半导体反射器、以及形成在该下部半导体反射器和该上部半导体反射器之间的活性区域。每个柱状结构沿着与基板垂直的方向发射光。上述至少一根金属配线具有变形施加部分，该变形施加部分相对于上述多个柱状结构沿着同一方向延伸。

主权项

一种垂直腔面发射激光器阵列，包括：基板，其上具有元件形成区域；多个柱状结构，其形成在所述基板上的所述元件形成区域中；以及至少一根金属配线，其形成为与所述多个柱状结构相邻，其中，所述多个柱状结构中的每一个包括第一导电类型的下部半导体反射器、第二导电类型的上部半导体反射器、以及形成在所述下部半导体反射器和所述上部半导体反射器之间的活性区域，并且所述柱状结构沿着与所述基板垂直的方向发射光，并且所述至少一根金属配线具有变形施加部分，所述变形施加部分相对于所述多个柱状结构沿着同一方向延伸。