垫窗插入

摘要

一种抛光垫包括：抛光层，该抛光层具有抛光表面；粘着层；该粘着层位于抛光层的一侧而与抛光表面相对；以及固态光透射窗，该固态光透射窗延伸穿透抛光层并成型于抛光层。固态光透射窗具有上方部分，该上方部分具第一横向尺寸，固态光透射窗并具有下方部分，该下方部分具小于第一横向尺寸的第二横向尺寸。固态光透射窗的顶表面与抛光表面共平面，且固态光透射窗的底表面与粘着层的下表面共平面。

主权项

一种抛光设备，包括：平台，所述平台具有平坦上表面，形成于所述上表面中的凹槽，所述凹槽具有底表面，以及连接至所述凹槽的所述底表面的通道；抛光垫，所述抛光垫包括抛光层、抛光表面、下侧，以及穿过所述下侧的开孔，所述开孔具有小于所述凹槽的横向尺寸，所述开孔对准所述通道；以及固态光透射窗，所述窗具有第一部分，所述第一部分至少部分安置在所述抛光垫中的所述开孔中，和第二部分，所述第二部分至少部分安置在所述平台中的所述凹槽中，所述第二部分具有大于所述第一部分的横向尺寸，且所述第二部分于所述抛光层下方延伸，所述窗的所述第二部分粘着性接附至所述抛光垫的一下侧。