发明名称
摘要
申请公布号 JP5127127(B2) 申请公布日期 2013.01.23
申请号 JP20050267747 申请日期 2005.09.15
申请人 发明人
分类号 B05D1/26;H01L21/027 主分类号 B05D1/26
代理机构 代理人
主权项
地址