| 发明名称 | 一种可调整真空度的真空镀膜机 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，特点是还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。本实用新型在保证工作效率的情况下，可以将真空腔体的真空度控制在一定范围，而不影响低温泵的使用周期。 | ||
| 申请公布号 | CN202688430U | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN201220275466.9 | 申请日期 | 2012.06.08 |
| 申请人 | 杭州大和热磁电子有限公司 | 发明人 | 刘黎明;陈军;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人 | 王兵;黄美娟 |
| 主权项 | 一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，其特征在于：还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。 | ||
| 地址 | 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路777号 | ||