单一芯片磁性传感器及其激光加热辅助退火装置与方法

摘要

本发明公开了一种单一芯片磁性传感器及其激光加热辅助退火装置与方法，它包括:a）磁性薄膜在强磁场中退火以使磁性薄膜的钉扎层的磁矩朝向同一个方向；b）将磁性薄膜固定放置在可移动平台的夹具上；c）打开激光源以发射出激光束，激光束经由光衰减器得以衰减，衰减后的激光束经由反光镜以改变方向，改变方向后的激光束经由聚焦物镜得以聚焦成光斑；d）移动可移动平台以使激光束聚焦后的光斑对准磁性薄膜以使激光束对磁性薄膜进行加热；e）调节设置在可移动平台上的电磁铁的磁场强度以翻转磁性薄膜的加热区域的磁畴。f）对磁性薄膜进行切片，并将切片好的磁性薄膜绑定成一体。

主权项

一种单一芯片磁性传感器激光加热辅助退火装置，其特征在于:它包括激光源（60），用于发射对准磁性薄膜（67）的激光束（62）；光衰减器（61），设置在经由激光源（60）发出的激光束（62）的后端；反光镜（64），用于改变经由光衰减器（61）衰减后的激光束（62）的传播方向；聚焦物镜（65），用于将经由反光镜（64）改变方向后的激光束（62）进行聚焦成光斑；可移动平台（66），其上包括有用于夹持磁性薄膜（67）的夹具；电磁铁，该电磁铁设置在可移动平台（66）上。