一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构

摘要

本实用新型涉及一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构，属于MEMS封装的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构，包括薄膜封帽及位于所述薄膜封帽下方的承载衬底；所述薄膜封帽与承载衬底间设有用于容纳MEMS结构的腔体，所述腔体中收纳有MEMS结构，所述MEMS结构与薄膜封帽或承载衬底相连；所述薄膜封帽包括位于内侧的吸气剂层及位于外侧的最终密封层，薄膜封帽通过其中的吸气剂层及最终密封层与承载衬底相连，并通过吸气剂层与承载衬底间形成腔体内壁；最终密封层位于吸气剂层外侧，并将MEMS结构密封于腔体内。本实用新型结构简单且新颖，能提升薄膜密封的MEMS器件的性能，适应范围广，安全可靠。

主权项

一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构，包括薄膜封帽及位于所述薄膜封帽下方的承载衬底（1）；其特征是：所述薄膜封帽与承载衬底（1）间设有用于容纳MEMS结构（2）的腔体（9），所述腔体（9）中收纳有MEMS结构（2），所述MEMS结构（2）与薄膜封帽或承载衬底（1）相连；所述薄膜封帽包括位于内侧的吸气剂层（5）及位于外侧的最终密封层，薄膜封帽通过薄膜封帽中的吸气剂层（5）及最终密封层与承载衬底（1）相连，并通过吸气剂层（5）与承载衬底（1）间形成腔体（9）内壁；最终密封层位于吸气剂层（5）外侧，并将MEMS结构（2）密封于腔体（9）内。