| 发明名称 | 一种用于真空系统的多功能监测仪 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于真空系统的多功能监测仪，包括真空腔(1)和抽真空装置(2)。真空腔(1)适于维持内部的真空，抽真空装置(2)与真空腔(1)密封连接并且能够对真空腔(1)内部进行抽真空。其中，该多功能监测仪还包括：适于连接真空系统的监测口(6)，该监测口(6)通过真空阀门(28)密封连接真空腔(1)；残余气体分析装置(4)，该残余气体分析装置(4)包含四级质谱仪，该四极质谱仪密封连接真空腔(1)并且能够监测三种以上的气体；储藏室(5)，该储藏室通过真空阀门(20)密封连接真空腔(1)并且能够储存样品。本实用新型具有功能多样，结构简单，体积较小，能够移动，各部件利用率高的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN202693563U | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN201220327481.3 | 申请日期 | 2012.07.06 |
| 申请人 | 中国科学院物理研究所 | 发明人 | 闫凌昊;郇庆;武荣庭;高鸿钧 |
| 分类号 | G01N33/00(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I;G01M3/34(2006.01)I | 主分类号 | G01N33/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人 | 蔡民军 |
| 主权项 | 一种用于真空系统的多功能监测仪，包括真空腔(1)和抽真空装置(2)，该真空腔(1)适于维持内部的真空，该抽真空装置(2)与该真空腔(1)密封连接并且能够对该真空腔(1)内部进行抽真空，其特征是，该多功能监测仪还包括：适于连接该真空系统的监测口(6)，该监测口(6)通过真空阀门(28)密封连接该真空腔(1)；残余气体分析装置(4)，该残余气体分析装置(4)包含四级质谱仪，该四极质谱仪密封连接该真空腔(1)并且能够监测三种以上的气体；储藏室(5)，该储藏室通过真空阀门(20)密封连接该真空腔(1)并且能够储存样品。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村南三街8号 | ||