一种PECVD镀膜设备特气槽

摘要

本实用新型公开了一种PECVD镀膜设备特气槽，包括：保护板主体，保护板主体包括底板和侧板；底板上开设有用于特气输出的第一特气孔；侧板铰接于底板的两侧，侧板上开设有用于特气输出的第二特气孔；夹紧组件，夹紧组件包括夹紧弹簧和固定轴；夹紧弹簧套设于固定轴上，固定轴固定设置于保护板主体上；夹紧弹簧的两端均设置有分别与底板和侧板抵接的尾端，夹紧弹簧套设于安装轴上。本实用新型提供的PECVD镀膜设备特气槽，通过夹紧组件将保护板主体安装于特气输送管上的结构设计，能够使得侧板在夹紧弹簧的作用下，紧抱于特气输送管上，其连接可靠。并且，当需要将本实用新型安装或者拆卸时，仅需要扳动侧板即可实现，其拆卸操作简单易行。

主权项

一种PECVD镀膜设备特气槽，用于对PECVD镀膜设备特气输送管的保护，其特征在于，包括：保护板主体，所述保护板主体包括底板（1）和侧板（2）；所述底板（1）上开设有用于特气输出的第一特气孔；所述侧板（2）铰接于所述底板（1）的两侧，所述侧板（2）上开设有用于特气输出的第二特气孔；夹紧组件，所述夹紧组件包括夹紧弹簧（3）和固定轴（4）；所述夹紧弹簧（3）套设于所述固定轴（4）上，所述固定轴（4）固定设置于所述保护板主体上；所述夹紧弹簧（3）的两端均设置有分别与所述底板（1）和所述侧板（2）抵接的尾端（31），所述夹紧弹簧（3）套设于所述安装轴上。