发明名称 |
一种微纳结构制造装置及方法 |
摘要 |
本发明公开了一种微纳结构制造装置及方法,属于微纳制造领域,主要包括原子笔、镀液、原子笔架、原子力显微检测系统、阴极平台、微动工作台、微电量供电电源,其中装有镀液的原子笔固定在原子笔架上,原子笔架同原子力显微检测系统一体化连接,并对其进行粗定位和精确定位,阴极平台和微动工作台固定连接,阴极平台和微动工作台之间用绝缘材料隔开,原子笔芯和微电量供电电源的正极连接,阴极平台和微电量供电电源的负极连接。本发明由于微电量供电电源以及碳纳米管的应用使得原子组装、原子团沉积三维微纳成型变得更加简易、精确,该装置及对应成型方法对于微纳器件的精确制造、微/纳机电的进步、量子器件的研制都具有一定的意义。 |
申请公布号 |
CN102205944B |
申请公布日期 |
2013.01.23 |
申请号 |
CN201110097248.0 |
申请日期 |
2011.04.19 |
申请人 |
北京化工大学 |
发明人 |
杨卫民;李好义;丁玉梅 |
分类号 |
B82B3/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
B82B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种微纳结构制造装置,其特征在于主要包括原子笔、镀液、原子笔架、原子力显微检测系统、阴极平台、微动工作台、微电量供电电源,其中装有镀液的原子笔固定在原子笔架上,原子笔架同原子力显微检测系统固定连接成一体,阴极平台和微动工作台固定连接,阴极平台和微动工作台之间用绝缘材料隔开,原子笔为导电材料,在原子笔笔筒端部加工微孔,原子笔笔芯为在笔筒上安装的微细金属针头,原子笔笔芯和微电量供电电源的正极连接,阴极平台和微电量供电电源的负极连接。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北三环东路15号 |