发明名称 |
一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法,该制备方法是首先对制绒后的硅片进行重扩散形成p-n结,然后去除非受光面的p-n结或者去除硅片边缘的p-n结,清洗去除硅片表面的氧化层,接着对硅片受光面进行浸润处理增强表面亲水性,再对受光面发射极进行全范围均匀腐蚀形成全范围浅发射极,并对发射极进行表面疏水性处理,然后在硅片受光面沉积功能介质薄膜,最后进行正负电极和背面场制备并烧结形成均匀浅发射极太阳电池。采用本发明方法制备的太阳电池具有制备成本低,转换效率高并适合工业化大规模生产的优点,具有很好的经济效益。 |
申请公布号 |
CN102157585B |
申请公布日期 |
2013.01.23 |
申请号 |
CN201110048148.9 |
申请日期 |
2011.02.28 |
申请人 |
中山大学 |
发明人 |
沈辉;冯成坤 |
分类号 |
H01L31/042(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/042(2006.01)I |
代理机构 |
广州知友专利商标代理有限公司 44104 |
代理人 |
李海波 |
主权项 |
一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法,其特征在于,首先对制绒后的硅片进行重扩散形成p‑n结,然后去除非受光面的p‑n结或者去除硅片边缘的p‑n结,清洗去除硅片表面的氧化层,接着对硅片受光面进行浸润处理增强表面亲水性,再对受光面发射极进行全范围均匀腐蚀形成全范围均匀浅发射极,并对发射极进行表面疏水性处理,然后在硅片受光面沉积功能介质薄膜,最后进行正负电极和背面场制备并烧结形成均匀浅发射极太阳电池。 |
地址 |
510275 广东省广州市海珠区新港西路135号 |