发明名称 一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法
摘要 本发明公开了一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法,该制备方法是首先对制绒后的硅片进行重扩散形成p-n结,然后去除非受光面的p-n结或者去除硅片边缘的p-n结,清洗去除硅片表面的氧化层,接着对硅片受光面进行浸润处理增强表面亲水性,再对受光面发射极进行全范围均匀腐蚀形成全范围浅发射极,并对发射极进行表面疏水性处理,然后在硅片受光面沉积功能介质薄膜,最后进行正负电极和背面场制备并烧结形成均匀浅发射极太阳电池。采用本发明方法制备的太阳电池具有制备成本低,转换效率高并适合工业化大规模生产的优点,具有很好的经济效益。
申请公布号 CN102157585B 申请公布日期 2013.01.23
申请号 CN201110048148.9 申请日期 2011.02.28
申请人 中山大学 发明人 沈辉;冯成坤
分类号 H01L31/042(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/042(2006.01)I
代理机构 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人 李海波
主权项 一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法,其特征在于,首先对制绒后的硅片进行重扩散形成p‑n结,然后去除非受光面的p‑n结或者去除硅片边缘的p‑n结,清洗去除硅片表面的氧化层,接着对硅片受光面进行浸润处理增强表面亲水性,再对受光面发射极进行全范围均匀腐蚀形成全范围均匀浅发射极,并对发射极进行表面疏水性处理,然后在硅片受光面沉积功能介质薄膜,最后进行正负电极和背面场制备并烧结形成均匀浅发射极太阳电池。
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