发明名称 |
光刻胶组合物、其涂覆方法、形成图案的方法及显示器 |
摘要 |
本文公开的是适于涂覆到大型基板上并且具有改善的涂覆均匀性以防止出现瑕疵的光刻胶组合物、其涂覆方法、用其形成有机膜图案的方法以及由此制造的显示器。本发明因而提供包含具有加入的聚硅氧烷树脂的聚合物树脂、光敏化合物和有机溶剂的光刻胶组合物。因此,该光刻胶组合物可以通过非旋涂法涂覆到大型基板上,并且由此可以提高涂覆均匀性,可以防止瑕疵例如积云状斑点和树脂条纹的出现,由此还可以提高涂覆速率以及用所述光刻胶组合物制备的最终产品的质量。 |
申请公布号 |
CN101251716B |
申请公布日期 |
2013.01.23 |
申请号 |
CN200810092083.6 |
申请日期 |
2008.02.02 |
申请人 |
三星显示有限公司 |
发明人 |
李永范;金京燮;李埈泳;康盛旭 |
分类号 |
G03F7/075(2006.01)I;G03F7/016(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/075(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
金拟粲 |
主权项 |
1.一种光刻胶组合物,其包含:具有加入的聚硅氧烷树脂的聚合物树脂;光敏化合物;和有机溶剂,其中所述聚硅氧烷树脂由以下化学式1表示:[化学式1]<img file="FSB00000796228700011.GIF" wi="1072" he="556" />其中x、y和z各自表示大于0且小于1的单体摩尔分数,其中x+y+z之和为1,以及R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>、R<sub>4</sub>、R<sub>5</sub>、R<sub>6</sub>、R<sub>7</sub>、R<sub>8</sub>、R<sub>9</sub>、R<sub>10</sub>和R<sub>11</sub>各自独立地是H、其中m是1-5的C<sub>m</sub>H<sub>2m+1</sub>、-OH、其中m是1-5的-OC<sub>m</sub>H<sub>2m+1</sub>、基于丙烯酰基的官能团、以下分子式1的官能团或以下分子式2的官能团:[分子式1]<img file="FSB00000796228700012.GIF" wi="435" he="442" />其中n是大于0的整数,[分子式2]<img file="FSB00000796228700021.GIF" wi="365" he="396" /> |
地址 |
韩国京畿道 |