| 发明名称 |
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| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP5127935(B2) |
申请公布日期 |
2013.01.23 |
| 申请号 |
JP20100546000 |
申请日期 |
2009.02.05 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
G06F17/50;H01L21/82 |
主分类号 |
G06F17/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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