发明名称 |
抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法 |
摘要 |
本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法,所述抗蚀剂组合物具有:具有由式(I)表示的结构单元的树脂,在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂,和具有酸不稳定基团的酸生成剂,其中R<sup>1</sup>、A<sup>1</sup>、A<sup>13</sup>、A<sup>14</sup>、X<sup>12</sup>如说明书中限定。<img file="DDA00001906187700011.GIF" wi="573" he="568" /> |
申请公布号 |
CN102890414A |
申请公布日期 |
2013.01.23 |
申请号 |
CN201210251271.5 |
申请日期 |
2012.07.19 |
申请人 |
住友化学株式会社 |
发明人 |
市川幸司;山口训史;铃木雄喜 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
贺卫国 |
主权项 |
1.一种抗蚀剂组合物,所述抗蚀剂组合物包含:具有由式(I)表示的结构单元的树脂,在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂,和具有酸不稳定基团的酸生成剂,<img file="FDA00001906187500011.GIF" wi="676" he="670" />其中R<sup>1</sup>表示氢原子或甲基;A<sup>1</sup>表示C<sub>1</sub>至C<sub>6</sub>烷二基;A<sup>13</sup>表示任选具有一个或多个卤素原子的C<sub>1</sub>至C<sub>18</sub>二价脂肪族烃基;X<sup>12</sup>表示*-CO-O-或*-O-CO-;*表示与A<sup>13</sup>的结合;A<sup>14</sup>表示任选具有一个或多个卤素原子的C<sub>1</sub>至C<sub>17</sub>脂肪族烃基。 |
地址 |
日本国东京都 |