发明名称 |
富含锗的GST-212相变存储器材料 |
摘要 |
本发明是关于一种相变材料,包括GexSbyTez,其中Ge(锗)的原子浓度x介于30%~65%的范围之间,Sb(锑)的原子浓度y介于13%~27%的范围之间,以及Te(碲)的原子浓度z介于20%~45%的范围之间。此材料的富含锗族也描述于此。一种包括此材料、适于整合电路的存储器装置也描述于此。该GST-212族的相变存储器材料具有比GST-225相变存储器材料较高的结晶温度。 |
申请公布号 |
CN102891252A |
申请公布日期 |
2013.01.23 |
申请号 |
CN201210112127.3 |
申请日期 |
2012.04.17 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司;国际商用机器公司 |
发明人 |
郑怀瑜;龙翔澜;施彦豪;西蒙·拉梧;马修·J·布雷杜斯克 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种相变材料,包括GexSbyTez,其中Ge的原子浓度x介于30%~65%的范围之间,Sb的原子浓度y介于13%~27%的范围之间,以及Te的原子浓度z介于20%~45%的范围之间。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 |