主权项 |
1.一种减小渐进多焦点镜片像散的优化方法,其特征在于进行如下步骤的操作:(1)根据待加工镜片的设计要求和镜片参数,得到镜片面形优化前的初始矢高分布数据z<sub>0</sub>(x,y);(2)推导出镜片上各点在各方向上的曲率公式如下,其中方向角度为θ:<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><mi>k</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>,</mo><mi>θ</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfrac><mrow><mfrac><mrow><msup><mo>∂</mo><mn>2</mn></msup><mi>z</mi></mrow><msup><mrow><mo>∂</mo><mi>x</mi></mrow><mn>2</mn></msup></mfrac><msup><mi>cos</mi><mn>2</mn></msup><mi>θ</mi><mo>+</mo><mn>2</mn><mfrac><mrow><msup><mo>∂</mo><mn>2</mn></msup><mi>z</mi></mrow><mrow><mo>∂</mo><mi>x</mi><mo>∂</mo><mi>y</mi></mrow></mfrac><mi>sin</mi><mi></mi><mi>θ</mi><mi>cos</mi><mi>θ</mi><mo>+</mo><mfrac><mrow><msup><mo>∂</mo><mn>2</mn></msup><mi>z</mi></mrow><mrow><mo>∂</mo><msup><mi>y</mi><mn>2</mn></msup></mrow></mfrac><msup><mi>sin</mi><mn>2</mn></msup><mi>θ</mi></mrow><msup><mrow><mo>[</mo><mn>1</mn><mo>+</mo><msup><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><mo>∂</mo><mi>z</mi></mrow><mrow><mo>∂</mo><mi>x</mi></mrow></mfrac><mi>cos</mi><mi>θ</mi><mo>+</mo><mfrac><mrow><mo>∂</mo><mi>z</mi></mrow><mrow><mo>∂</mo><mi>y</mi></mrow></mfrac><mi>sin</mi><mi>θ</mi><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup><mo>]</mo></mrow><mfrac><mn>3</mn><mn>2</mn></mfrac></msup></mfrac><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>利用该公式根据优化前初始矢高分布数据z<sub>0</sub>(x,y)计算出优化前镜片上各点最大曲率k<sub>max</sub>(x,y)和最大曲率的方向θ<sub>max</sub>(x,y);并计算出优化前镜片上各点最小曲率k<sub>min</sub>(x,y)和最小曲率的方向θmin(x,y);(3)优化前镜片上各点的平均主曲率为:<img file="FDA00002296666500012.GIF" wi="719" he="104" />优化前镜片上各点的主曲率差为:δ<sub>0</sub>(x,y)=k<sub>max</sub>(x,y)-k<sub>min</sub>(x,y);(4)计算一个新的自由曲面的矢高分布数据z<sub>t</sub>(x,y):新的自由曲面是由各个不同曲率的微小柱面组成,各个微小柱面的曲率为:C(x,y)=δ<sub>0</sub>(x,y)/M;式中,δ<sub>0</sub>(x,y)为优化前各点的主曲率差,M为20-35的常数;新的自由曲面矢高分布为:<maths num="0002"><![CDATA[<math><mrow><msub><mi>z</mi><mi>t</mi></msub><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mfrac><mrow><mi>C</mi><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><msup><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mi>cos</mi><msub><mi>θ</mi><mi>t</mi></msub><mo>-</mo><mi>y</mi><mi>sin</mi><msub><mi>θ</mi><mi>t</mi></msub><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></mrow><mrow><mn>1</mn><mo>+</mo><msqrt><mn>1</mn><mo>-</mo><msup><mi>C</mi><mn>2</mn></msup><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mo>,</mo><mi>y</mi><mo>)</mo></mrow><msup><mrow><mo>(</mo><mi>x</mi><mi>cos</mi><msub><mi>θ</mi><mi>t</mi></msub><mo>-</mo><mi>y</mi><mi>sin</mi><msub><mi>θ</mi><mi>t</mi></msub><mo>)</mo></mrow><mn>2</mn></msup></msqrt></mrow></mfrac><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>式中,θ<sub>t</sub>取步骤(2)求得的各点的最小曲率方向θ<sub>min</sub>(x,y);(5)将镜片面形优化前的初始矢高分布数据z<sub>0</sub>(x,y)与新的自由曲面矢高分布数据z<sub>t</sub>(x,y)相加,得到像散优化后的镜片面形矢高分布数据z<sub>1</sub>(x,y);由z<sub>1</sub>(x,y)加工出减小像散的渐进多焦点镜片。 |