发明名称 一种用于真空镀膜设备的升降装置
摘要 本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的升降装置,包括第一固定架、导轨、丝杆、升降机构、摆出机构、托架、蜗轮蜗杆和手柄;所述丝杆和导轨分别固定于所述第一固定架上,所述托架通过固定件与所述摆出机构固定连接,所述升降机构的一端与所述丝杆螺纹连接,另一端与所述导轨滑动连接,所述摆出结构包括两个与所述导轨相套的轴套,所述轴套分别设置在所述升降机构与所述导轨相连一端的上下两侧并可随所述升降机构沿所述导轨上下滑动,所述手柄通过所述蜗轮蜗杆使所述丝杆转动从而带动所述升降机构及摆出机构沿所述导轨上下滑动;所述托架可随所述摆出机构的轴套绕所述导轨转动。本实用新型能方便地将电子枪进行升降和摆出。
申请公布号 CN202687874U 申请公布日期 2013.01.23
申请号 CN201220275478.1 申请日期 2012.06.08
申请人 杭州大和热磁电子有限公司 发明人 陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉
分类号 B66F7/06(2006.01)I;B66F7/28(2006.01)I;F16H37/12(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I 主分类号 B66F7/06(2006.01)I
代理机构 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人 王兵;黄美娟
主权项 一种用于真空镀膜设备的升降装置,其特征在于:包括第一固定架、导轨、丝杆、升降机构、摆出机构、托架、蜗轮蜗杆和手柄;所述丝杆和导轨分别固定于所述第一固定架上,所述托架通过固定件与所述摆出机构固定连接,所述升降机构的一端与所述丝杆螺纹连接,另一端与所述导轨滑动连接,所述摆出结构包括两个与所述导轨相套的轴套,所述轴套分别设置在所述升降机构与所述导轨相连一端的上下两侧并可随所述升降机构沿所述导轨上下滑动,所述手柄通过所述蜗轮蜗杆使所述丝杆转动从而带动所述升降机构及摆出机构沿所述导轨上下滑动;所述托架可随所述摆出机构的轴套绕所述导轨转动。
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