大流量NH₃供应系统

摘要

本实用新型涉及一种大流量NH3供应系统，储气瓶外表包覆电加热膜，储气瓶放置于磅秤上；主进气管与储气瓶上设有的气象出口连接；在高压侧气动阀与高压侧压力表间的主进气管设置于汽化器内，汽化器由隔热层、电加热器、加热介质组成，电加热器设置于隔热层内腔底部，隔热层内腔注满加热介质，主进气管浸没在加热介质内，加热介质为水；主进气管在进气端与进气过滤器之间的部位分别与高压侧支排气管路、P-N2吹净管路相连，主进气管在调压阀与低压侧压力表之间的部位与低压侧支排气管路连接；排气管路与G-N2抽气管路连接；本实用新型具有流量稳定、气化性能好的优点。

主权项

大流量NH3供应系统，由储气瓶、电加热膜、磅秤、主进气管、进气过滤器、高压侧气动阀、汽化器、高压侧压力表、调压阀、低压侧压力表、低压侧气动阀、出气过滤器、手动阀、P‑N2吹净管路、吹净管路气动阀、G‑N2抽气管路、抽气管路气动阀、真空发生器、排气管路、排气管路压力表、高压侧支排气管路、高压侧支排气管路气动阀、低压侧支排气管路、低压侧支排气管路气动阀组成；其特征在于：储气瓶外表包覆电加热膜，储气瓶放置于磅秤上；主进气管与储气瓶上设有的气象出口连接，主进气管在进气方向上依次设有进气过滤器、高压侧气动阀、高压侧压力表、调压阀、低压侧压力表、低压侧气动阀、出气过滤器、手动阀；在高压侧气动阀与高压侧压力表间的主进气管设置于汽化器内，汽化器由隔热层、电加热器、加热介质组成，电加热器设置于隔热层内腔底部，隔热层内腔注满加热介质，主进气管浸没在加热介质内；主进气管在进气端与进气过滤器之间的部位分别与高压侧支排气管路、P‑N2吹净管路相连，高压侧支排气管路上设有高压侧支排气管路气动阀，P‑N2吹净管路上设有吹净管路气动阀，主进气管在调压阀与低压侧压力表之间的部位与低压侧支排气管路连接，低压侧支排气管路上设有低压侧支排气管路气动阀；高压侧支排气管路与低压侧支排气管路合并后组成排气管路，排气管路上设有排气管路压力表，排气管路与G‑N2抽气管路连接，G‑N2抽气管路上设有抽气管路气动阀、真空发生器，真空发生器设置在与排气管路相连的部位。